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微小热式气体流量计
适用:
半导体制造
真空镀膜
化工分析气流测量与控制
特点:
具有流量精度高、线性好、零漂小
气流响应速度快、气阻小,工作压力范围宽
耐压高及适用于真空条件下工作
气体流量精度不因温度、压力的变化而变化
阀体气密材料采用抗腐蚀材料,耐腐蚀性强
可任意角度安装
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产品概述

热式质量流量控制器,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布, 造成上下游温差方法,而测得气体质量流量。不同于容积式流量计,其流量精度 不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量, 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

产品参数
项 目 性能参数
流量规格 (100,150,200)L/min
调节阀类型 电磁调节阀
调节阀静止状态 常闭
流量控制范围 5%-100%F.S.
流量测量范围 0%-100%F.S.
响应时间 2 sec(T98)
工作环境温度 5-50℃
精度保证温度 15-35℃
精度 ±1.0%F.S.
线性精度 ±0.5%F.S.
重复性 ±0.2%F.S.
工作压差 (100/150/200)L/min:(100/150/200)-300kPa(D)
耐压 3MPa(G)
接触气体材料 316L,PTFE, Viton
管路接头 Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″VCR:1/4″3/8″8
供电电源
±15VDC(±5%)
+15V,<100mA
-15V,<200mA
输入阻抗 >1MΩ4-20mA;(可定制: 1-5V 或 0-5V,输入阻抗>100kΩ)
流量输出信号 (0-5)VDC
负载能力 ≤3mA4-20mA;(可定制: 1-5V 或 0-5V,负载能力≤3mA)
电气接头 D-SUB15,D-SUB9
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